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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Measurement science & technology, 2024-06, Vol.35 (6), p.66012
2024
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Measurement science & technology, 2022-12, Vol.33 (12), p.125001
2022
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Journal of micromechanics and microengineering, 2018-09, Vol.28 (9), p.95010
2018
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Microelectronic engineering, 2008-05, Vol.85 (5-6), p.1096-1099
2008
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Journal of micromechanics and microengineering, 2011-08, Vol.21 (8), p.085003-8
2011
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Microelectronic engineering, 2008-05, Vol.85 (5-6), p.1128-1130
2008
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Microelectronic engineering, 2011-08, Vol.88 (8), p.2671-2674
2011
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Microelectronic engineering, 2008-05, Vol.85 (5-6), p.1092-1095
2008
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Microelectronic engineering, 2009-04, Vol.86 (4), p.987-990
2009
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2010-01, Vol.28 (1), p.C1-C1C33
2010
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2010-01, Vol.28 (1), p.C1-C1C40
2010
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2010-01, Vol.28 (1), p.C1-C1C47
2010
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2010-01, Vol.28 (1), p.C1-C1C26
2010
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2012 37th International Conference on Infrared, Millimeter, and Terahertz Waves, 2012, p.1-2
2012
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Journal of microelectromechanical systems, 2011-10, Vol.20 (5), p.1074-1080
2011
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Microelectronics and reliability, 2002-09, Vol.42 (9), p.1811-1814
2002
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