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Review of electrical characterization of ultra-shallow junctions with micro four-point probes
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2010-01, Vol.28 (1), p.C1-C1C33
2010
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Sensitivity study of micro four-point probe measurements on small samples
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2010-01, Vol.28 (1), p.C1-C1C40
2010
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Electrical characterization of InGaAs ultra-shallow junctions
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2010-01, Vol.28 (1), p.C1-C1C47
2010
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Study of submelt laser induced junction nonuniformities using Therma-Probe
Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2010-01, Vol.28 (1), p.C1-C1C26
2010
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Zeitschrift / SerieJournal Of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics And Nanometer Structures Processing, Measurement And Phenomena
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