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Applied physics letters, 2008-07, Vol.93 (3), p.033509-033509-3
2008
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Journal of applied physics, 2005-07, Vol.98 (2), p.026102-026102-3
2005
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-12, Vol.25 (1), p.11-16
2006
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SpracheEnglisch
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ThemaEngineering, Multidisciplinary