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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-05, Vol.26 (3), p.1081-1083
2008
Volltextzugriff (PDF)

Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-05, Vol.26 (3), p.1081-1083
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