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2002
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Vacuum, 2014-09, Vol.107, p.129-131
2014
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Journal of micromechanics and microengineering, 2015-07, Vol.25 (7), p.74006-7
2015
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Journal of micromechanics and microengineering, 2015-07, Vol.25 (7)
2015
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Thin solid films, 2010-06, Vol.518 (16), p.4508-4511
2010
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Thin solid films, 2006-10, Vol.515 (2), p.658-661
2006
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Vacuum, 2020-09, Vol.179, p.109570, Article 109570
2020
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Thin solid films, 2006-10, Vol.515 (2), p.651-653
2006
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Microsystem technologies, 2008-04, Vol.14 (4-5), p.629-635
2008
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Journal of materials science. Materials in electronics, 2008, Vol.19 (8-9), p.855-862
2008
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Vacuum, 2002-12, Vol.69 (1), p.237-242
2002
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Vacuum, 1998-05, Vol.50 (1), p.41-44
1998
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Vacuum, 2014-09, Vol.107, p.20-22
2014
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Thin solid films, 2009-12, Vol.518 (4), p.1103-1108
2009
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Vacuum, 2000-08, Vol.58 (2), p.300-307
2000
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Vacuum, 1998-05, Vol.50 (1), p.45-48
1998
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Vacuum, 1995-12, Vol.46 (12), p.1407-1412
1995
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Journal of materials science. Materials in electronics, 2008, Vol.19 (8-9), p.783-787
2008
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Vacuum, 1998-10, Vol.51 (2), p.157-160
1998
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Vacuum, 2007-10, Vol.82 (2), p.236-239
2007
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Thin solid films, 2004-07, Vol.459 (1), p.149-151
2004
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Japanese Journal of Applied Physics, 2003-10, Vol.42 (Part 2, No. 10A), p.L1178-L1181
2003
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Vacuum, 2002-09, Vol.67 (3), p.567-570
2002
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Vacuum, 1998, Vol.50 (1-2), p.121-123
1998
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Vacuum, 2000-08, Vol.58 (2), p.428-433
2000
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