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Microsystem technologies, 2014-10, Vol.20 (10-11), p.1773-1781
2014
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Micro and nano systems letters, 2020-08, Vol.8 (1), p.1-9, Article 15
2020
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Journal of micromechanics and microengineering, 2020-09, Vol.30 (9), p.95012
2020
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