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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2013, Vol.19 (1), p.53-60
2013
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Journal of nanoscience and nanotechnology, 2016-06, Vol.16 (6), p.6465
2016
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2015 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN), 2015, p.1-2
2015
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Zeitschrift / SerieJournal Of Vacuum Science & Technology. B, Microelectronics And Nanometer Structures Processing, Measurement And Phenomena
ThemaScience & Technology - Other Topics
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