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IEEE photonics technology letters, 2000-07, Vol.12 (7), p.882-884
2000
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Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2016, p.664-670
Second Edition, 2016
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Encapsulation by Film Deposition
Handbook of Silicon Based MEMS Materials and Technologies, 2015, p.1-1
2nd Edition, 2015
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Zeitschrift / SerieIeee Journal Of Selected Topics In Quantum Electronics