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Research of the tense-deformed state of elastic element of micropompe and determination of its functionlies
The Experience of Designing and Application of CAD Systems in Microelectronics, 2015, p.140-142
2015
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Methodology of the Automated MEMS Design
2007 International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design, 2007, p.84-85
2007
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