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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2017-01, Vol.35 (1)
2017
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2022 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS (DTIP), 2022, p.1-5
2022
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2018 Symposium on Design, Test, Integration & Packaging of MEMS and MOEMS (DTIP), 2018, p.1-4
2018
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