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Japanese journal of applied physics, 1997, Vol.36 (2), p.732-737
1997
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Japanese Journal of Applied Physics, 1999-01, Vol.38 (Part 1, No. 1B), p.518-521
1999
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Japanese Journal of Applied Physics, 1997, Vol.36 (4A), p.2167-2175
1997
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2002-11, Vol.20 (6), p.2303-2308
2002
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-01, Vol.17 (1), p.233-236
1999
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ThemaMaterials Science
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