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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2017-01, Vol.35 (1)
2017
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Journal of physics. D, Applied physics, 2005-05, Vol.38 (10A), p.A61-A66
2005
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2010 International Conference on Simulation of Semiconductor Processes and Devices, 2010, p.45-48
2010






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