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International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology, 2022, 9(1), , pp.349-367
2022
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2017
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Microelectronic engineering, 2020-10, Vol.234, p.111437, Article 111437
2020
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Microelectronic engineering, 2017-11, Vol.183-184, p.1-11
2017
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Microelectronic engineering, 2022-05, Vol.261, p.111808, Article 111808
2022
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Microelectronic engineering, 2019-08, Vol.216, p.111090, Article 111090
2019
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Microelectronic engineering, 2021-09, Vol.249, p.111620, Article 111620
2021
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