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Microelectronic engineering, 2022-02, Vol.254, p.111697, Article 111697
2022
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2010 IEEE 23rd International Conference on Micro Electro Mechanical Systems (MEMS), 2010, p.1155-1158
2010






2008 3rd IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, 2008, p.183-186
2008

Microelectronics, 2007-06, Vol.38 (6), p.716-721
2007
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TRANSDUCERS 2007 - 2007 International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference, 2007, p.1349-1352
2007



ACS sustainable chemistry & engineering, 2017-06, Vol.5 (6), p.4665-4671
2017
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Journal of cleaner production, 2012-11, Vol.35, p.108-117
2012
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