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Journal of membrane science, 2015-01, Vol.473, p.28-35
2015
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2005-02, Vol.11 (2-3), p.186-193
2005
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Journal of micromechanics and microengineering, 1998-06, Vol.8 (2), p.134-137
1998
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Journal of micromechanics and microengineering, 1998-06, Vol.8 (2), p.108-110, Article 108
1998
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Microelectronics and reliability, 1998-06, Vol.38 (6), p.1221-1226
1998
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Microsystem technologies, 2002-08, Vol.8 (4-5), p.351-358
2002
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Applied sciences, 2015-12, Vol.5 (4), p.787-816
2015
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Sensors and actuators. A. Physical., 2004-06, Vol.113 (1), p.71-77
2004
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Machining science and technology, 1997-08, Vol.1 (1), p.153-162
1997
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