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Investigation of thermo-mechanical behaviour of diffractive optical elements for CO2 lasers
Applied surface science, 2009-03, Vol.255 (10), p.5507-5510
2009
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Investigation of tolerances of diffractive optical elements for the high power near infrared lasers
Applied surface science, 2007-12, Vol.254 (4), p.826-829
2007
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Multi-level relief structures in sol–gel and photoresist fabricated by laser ablation and analyzed with coherence probe microscopy
Applied surface science, 2008-01, Vol.254 (7), p.1986-1992
2008
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Excimer laser ablation lithography applied to the fabrication of reflective diffractive optics
Applied surface science, 2003-03, Vol.208, p.238-244
2003
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Investigation of thermo-mechanical behaviour of diffractive optical elements for CO 2 lasers
Applied surface science, 2009-03, Vol.255 (10), p.5507-5510
2009
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Multi-level relief structures in solgel and photoresist fabricated by laser ablation and analyzed with coherence probe microscopy
Applied surface science, 2008, Vol.254
2008
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Multi-level relief structures in solgel and photoresist fabricated by laser ablation and analyzed with coherence probe microscopy
Applied surface science, 2008, Vol.254
2008
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