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Status of Step and Flash Imprint Lithography tools and processes
Digest of Papers Microprocesses and Nanotechnology 2003. 2003 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 2003, p.136-137
2003
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New developments in S-FIL technology
Digest of Papers Microprocesses and Nanotechnology 2005, 2005, p.258-259
2005
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The impact of step and flash imprint lithography for nano-manufacturing applications
Digest of Papers. 2004 International Microprocesses and Nanotechnology Conference, 2004, 2004, p.54-54
2004
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ThemaLithography
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