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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2005-05, Vol.23 (3), p.1262-1266
2005
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2002-05, Vol.20 (3), p.1200-1204
2002
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KollektionAmerican Institute of Physics
Zeitschrift / SerieJournal Of Vacuum Science And Technology. B, Nanotechnology & Microelectronics