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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2005-11, Vol.23 (6), p.3174-3177
2005
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Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73, p.412-416
2004
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Microelectronic engineering, 2004-06, Vol.73-74, p.412-416
2004
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2007-11, Vol.25 (6), p.2233-2238
2007
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2007-11, Vol.25 (6), p.2228-2232
2007
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2006-03, Vol.24 (2), p.587-591
2006
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The Annals of thoracic surgery, 2020-09, Vol.110 (3), p.1096-1096
2020
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