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Installieren Sie die LibKey Nomad-Browsererweiterung und erhalten Sie von vielen Webseiten einfachen Zugriff auf lizenzierte Volltexte oder Open Access Publikationen. Mehr erfahren...Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1987-11, Vol.5 (6), p.1756-1759
1987
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1992-03, Vol.10 (2), p.692-696
1992
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