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Journal of applied physics, 2014-01, Vol.115 (1)
2014
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2023-09, Vol.41 (5)
2023
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Journal of applied physics, 2009-08, Vol.106 (4), p.044503-044503-8
2009
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 2007-07, Vol.25 (4), p.886-892
2007
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Applied physics letters, 2004-07, Vol.85 (4), p.537-539
2004
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Ion Implantation Technology 2008, 2008, Vol.1066, p.537-540
2008
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Journal of Vacuum Science & Technology B Microelectronics and Nanometer Structures, 2006-09, Vol.24 (5), p.2391-2397
2006
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Journal of vacuum science & technology. A, Vacuum, surfaces, and films, 1988-03, Vol.6 (2), p.466-469
1988
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