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Applied physics letters, 2002-10, Vol.81 (15), p.2773-2775
2002
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 2004-11, Vol.22 (6), p.2877-2881
2004
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Applied physics letters, 1988-02, Vol.52 (5), p.404-406
1988
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Applied physics letters, 1986-12, Vol.49 (22), p.1554-1556
1986
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Applied physics letters, 1988-08, Vol.53 (8), p.651-653
1988
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-11, Vol.17 (6), p.3273-3279
1999
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157 nm: Deepest deep-ultraviolet yet
Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1999-11, Vol.17 (6), p.3262-3266
1999
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1996-11, Vol.14 (6), p.4184-4187
1996
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Physical review. B, Condensed matter, 1995-08, Vol.52 (7), p.4732-4735
1995
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Physical review. B, Condensed matter, 1994-05, Vol.49 (19), p.13512-13516
1994
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How practical is 193 nm lithography?
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1996-11, Vol.14 (6), p.4157-4161
1996
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Photolithography at 193 nm
Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1992-11, Vol.10 (6), p.2989-2996
1992
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1987-01, Vol.5 (1), p.419-422
1987
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1994-03, Vol.12 (2), p.1146-1149
1994
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 1993-05, Vol.11 (3), p.881-884
1993
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1987-01, Vol.5 (1), p.414-418
1987
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Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures, 1987-09, Vol.5 (5), p.1400-1403
1987
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Applied physics letters, 1996-01, Vol.68 (1), p.129-131
1996
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