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Journal of microelectromechanical systems, 2020-02, Vol.29 (1), p.117-128
2020
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Journal of micromechanics and microengineering, 2016-09, Vol.26 (9), p.95018
2016
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Science of advanced materials, 2011-06, Vol.3 (3), p.401-419
2011
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Microsystem technologies : sensors, actuators, systems integration, 2018-07, Vol.24 (7), p.3133-3140
2018
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