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Microelectronic engineering, 2021-02, Vol.236, p.111470, Article 111470
2021
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Journal of micromechanics and microengineering, 2020-06, Vol.30 (6), p.65010
2020
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2020-05, Vol.38 (3)
2020
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IOP conference series. Earth and environmental science, 2020-07, Vol.531 (1), p.12064
2020
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Journal of vacuum science and technology. B, Nanotechnology & microelectronics, 2017-01, Vol.35 (1)
2017
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