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Versatile High Rate Plasma Deposition and Processing with very high Frequency Excitation

MRS proceedings, 1997, Vol.467, p.471-482, Article 471

Heintze, M.

1997

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The mechanism of plasma-induced deposition of amorphous silicon from silane

Plasma chemistry and plasma processing, 1990-03, Vol.10 (1), p.3-26

1990

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Highly Conductive p-type Microcrystalline Silicon Thin Films

MRS proceedings, 1996, Vol.420, Article 277

1996

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The Effect of Hydrogen Dilution on the Hot-Wire Deposition of Microcrystalline Silicon

MRS proceedings, 1996, Vol.420, Article 295

1996

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Hall-Effect and Sign Properties in Hydrogenated Amorphous and Disordered Crystalline Silicon

MRS proceedings, 1996, Vol.420, Article 813

1996

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Mechanism of High Rate a-Si:H Deposition in a VHF Plasma

MRS proceedings, 1993, Vol.297, Article 49

1993

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Vibrational Spectra of a-Si:H Obtained by Pds

MRS proceedings, 1991, Vol.219, Article 229

1991

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Deposition of a-Ge:H in a Remote Plasma System

MRS proceedings, 1990, Vol.192, Article 565

1990

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From the Understanding of the Reaction Mechanism Towards Optimizing the Deposition Rate and Optoelectronic Properties of a-Si:H

MRS proceedings, 1989, Vol.149, Article 3

1989

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Mechanisms of Plasma Induced Silicon Deposition and the Control of the Properties of the Deposit

MRS proceedings, 1988, Vol.118, Article 3

1988

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Microcrystalline Silicon Thin film Growth and Simultaneous Etching of Amorphous Material

MRS proceedings, 1994, Vol.358, Article 733

1994

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Charge Carrier Absorption in Doped Microcrystalline Silicon Films

MRS proceedings, 1996, Vol.452, Article 815

1996

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An Approach to High Quality a-Ge:H by VHF Deposition

MRS proceedings, 1993, Vol.297, Article 55

1993

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Atomic Scale Study of Cosi/Si (111) and CoSi 2 /Si (111) Interfaces

MRS proceedings, 1989, Vol.159, Article 147

1989

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Microstructural Investigation of the TiSi2/Si (111) Interface

MRS proceedings, 1989, Vol.139, Article 369

1989

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Atomic Scale Study of Cosi/Si (111) and CoSi2/Si (111) Interfaces

MRS proceedings, 1989, Vol.159

1989

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Structural Properties of High Electronic Quality a-Si1-xCx:H by Infrared Spectroscopy

MRS proceedings, 1992, Vol.258

1992

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Structural Properties of High Electronic Quality a-Si 1-x C x :H by Infrared Spectroscopy

MRS proceedings, 1992, Vol.258, Article 673

1992

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Child Care Subsidies and the Employment of Welfare Recipients

Demography, 2002-02, Vol.39 (1), p.165-179

2002

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Zufriedenheit von Patienten mit chronischen Darmerkrankungen in der Allgemeinmedizin: Eine Patientenbefragung im Rahmen des Kompetenznetzes Darmerkrankungen

Zeitschrift für Allgemeinmedizin, 2004, Vol.80 (1), p.26-32

2004

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Zufriedenheit von Patienten mit chronischen Darmerkrankungen in der Allgemeinmedizin

Zeitschrift für Allgemeinmedizin, 2004-01, Vol.80 (1), p.26-32

2004

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Book review

Applied Physics, 1975, Vol.8 (1), p.A89-A94

1975

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