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Ion Implantation Technology, 2006, Vol.866, p.129-132
2006
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Applied physics letters, 1991-03, Vol.58 (9), p.922-924
1991
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Journal of vacuum science & technology. B, Microelectronics and nanometer structures processing, measurement and phenomena, 2008-01, Vol.26 (1), p.281-285
2008
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Applied physics letters, 1991-06, Vol.58 (24), p.2827-2829
1991
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Applied physics letters, 1989-10, Vol.55 (18), p.1838-1840
1989
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Materials science reports, 1991-08, Vol.6 (7), p.275-366
1991
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ESSDERC '92: 22nd European Solid State Device Research conference, 1992, p.665-668
1992
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