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Journal of micromechanics and microengineering, 2003-01, Vol.13 (1), p.141-148
2003
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Journal of micromechanics and microengineering, 2010-08, Vol.20 (8), p.085042-085042
2010
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Sensors and actuators. A. Physical., 2008-11, Vol.148 (1), p.201-210
2008
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Journal of micromechanics and microengineering, 2004-04, Vol.14 (4), p.490-496
2004
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ThemaMaterials Science
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