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Journal of micromechanics and microengineering, 2018-09, Vol.28 (9), p.95010
2018
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Journal of physics. Conference series, 2015-10, Vol.647 (1), p.12022
2015
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Microelectronic engineering, 2008-05, Vol.85 (5-6), p.1096-1099
2008
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Journal of micromechanics and microengineering, 2011-08, Vol.21 (8), p.085003-8
2011
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