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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Synthesis of TiO2–Al2O3 and TiO2–Ta2O5 composite nanotubes on planar Si substrates
Ist Teil von
  • Micro & nano letters, 2017-02, Vol.12 (2), p.95-99
Ort / Verlag
The Institution of Engineering and Technology
Erscheinungsjahr
2017
Link zum Volltext
Quelle
Wiley Online Library - AutoHoldings Journals
Beschreibungen/Notizen
  • Morphological studies of TiO2–Al2O3 and TiO2–Ta2O5 nanocomposite nanotubes synthesised on silicon substrates are presented here. Nanocomposite Ti–Al and Ti–Ta thin films were deposited on silicon substrates via simultaneous multi-target sputtering of Ti and Al targets or Ti and Ta targets, followed by anodisation in a fluorinated electrolyte. By increasing the Al or Ta concentration in the sputtered films, the morphology of the anodised films is changed from tubular oxides (with ripples on the outer walls) to well-aligned porous oxides (smooth walls, near zero gap between walls). By increasing the concentrations of Ta, formation of random Y-branched porous oxides in the anodised films is demonstrated. These nanotubes were synthesised on a planar substrates making them suitable for integrated circuits.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 1750-0443
eISSN: 1750-0443
DOI: 10.1049/mnl.2016.0516
Titel-ID: cdi_wiley_primary_10_1049_mnl_2016_0516_MNA2BF00983

Weiterführende Literatur

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