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Mask technologies for soft-x-ray projection lithography at 13 nm
Applied Optics, 1993-12, Vol.32 (34), p.7007
1993
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Mask technologies for soft-x-ray projection lithography at 13 nm
Ist Teil von
  • Applied Optics, 1993-12, Vol.32 (34), p.7007
Erscheinungsjahr
1993
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0003-6935
eISSN: 1539-4522
DOI: 10.1364/AO.32.007007
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1364_AO_32_007007
Format
–

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