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Applied surface science, 2009-04, Vol.255 (13), p.6460-6463
2009
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Nb-doped ZnO transparent conducting films fabricated by pulsed laser deposition
Ist Teil von
  • Applied surface science, 2009-04, Vol.255 (13), p.6460-6463
Ort / Verlag
Amsterdam: Elsevier B.V
Erscheinungsjahr
2009
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Beschreibungen/Notizen
  • Nb-doped ZnO thin films have been prepared on glass substrates by pulsed laser deposition (PLD). The effect of substrate temperature has been investigated from 100 to 500 °C by analyzing the structural, optical, and electrical properties. The Nb-doped ZnO films possessed a good crystallinity with a c-axis preferential orientation and a high transmittance (above 85%) in the visible region. The obtained film deposited at 350 °C exhibited the best electrical properties with the lowest room-temperature resistivity of around 5 × 10 −4 Ω cm. Guided by x-ray photoemission spectroscopy analysis, Nb Zn 3+ is believed to be the very possible donor in the Nb-doped ZnO films.

Weiterführende Literatur

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