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Journal of applied physics, 1975-08, Vol.46 (8), p.3286-3292
1975
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Electrostatically driven overdense rf plasma source
Ist Teil von
  • Journal of applied physics, 1975-08, Vol.46 (8), p.3286-3292
Erscheinungsjahr
1975
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Beschreibungen/Notizen
  • We describe a radio-frequency plasma generator consisting of two collinear cylinders surrounding a magnetically confined plasma column, excited by up to 7 kW of power at 155 MHz. The source is capable of generating plasma densities of the order of mi/me times the critical density nc=meω2/4πe2. The plasma density, the efficiencies of plasma heating, and the ion and electron heating associated with this generator are described in detail.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0021-8979
eISSN: 1089-7550
DOI: 10.1063/1.322044
Titel-ID: cdi_proquest_miscellaneous_22369400
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Weiterführende Literatur

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