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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Nano-craters due to impact of individual highly charged ions on surfaces and thin films
Ist Teil von
  • Journal of physics. Conference series, 2012-01, Vol.388 (13), p.132028-1
Ort / Verlag
Bristol: IOP Publishing
Erscheinungsjahr
2012
Quelle
EZB Electronic Journals Library
Beschreibungen/Notizen
  • We present a systematic study on nano-crater formation due to impact of individual slow highly charged ions (Xe20+ − Xe50+) on thin polymethyl-metacrylate films, which have been spin-coated on a Si-wafer.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 1742-6588
eISSN: 1742-6596
DOI: 10.1088/1742-6596/388/13/132028
Titel-ID: cdi_proquest_miscellaneous_1762105328

Weiterführende Literatur

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