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Microelectronic engineering, 2014-07, Vol.123, p.23-27
2014

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Anti-sticking layers for nickel-based nanoreplication tools
Ist Teil von
  • Microelectronic engineering, 2014-07, Vol.123, p.23-27
Ort / Verlag
Amsterdam: Elsevier
Erscheinungsjahr
2014
Link zum Volltext
Quelle
Elsevier ScienceDirect Journals Complete
Beschreibungen/Notizen
  • Nickel is the preferred material for molds used in high throughput micro injection molding and roll-to-roll processes. We present different solutions for anti-sticking layers for nickel-based nanoreplication tools, which are highly desired for replication of features in the sub-micrometer and nanometer scale. Layers of fluorocarbon molecules, bound to nickel via different head groups, were evaluated via friction force and contact angle measurements, X-ray photoelectron spectroscopy and imprint tests. The robustness of fluorinated phosphates and phosphonates applied to nickel pre-treated in oxygen plasma is similar to silanes used on silicon molds.

Weiterführende Literatur

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