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Improving optical measurement uncertainty with combined multitool metrology using a Bayesian approach
Applied Optics, 2012-09, Vol.51 (25), p.6196
2012
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Improving optical measurement uncertainty with combined multitool metrology using a Bayesian approach
Ist Teil von
  • Applied Optics, 2012-09, Vol.51 (25), p.6196
Erscheinungsjahr
2012
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0003-6935
eISSN: 1539-4522
DOI: 10.1364/AO.51.006196
Titel-ID: cdi_crossref_primary_10_1364_AO_51_006196
Format
–

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