Sie befinden Sich nicht im Netzwerk der Universität Paderborn. Der Zugriff auf elektronische Ressourcen ist gegebenenfalls nur via VPN oder Shibboleth (DFN-AAI) möglich. mehr Informationen...
A novel MEMS nano-tribometer for dynamic testing in-situ in SEM and TEM
Ist Teil von
Tribology letters, 2005-01, Vol.18 (1), p.13-19
Ort / Verlag
Dordrecht: Springer Nature B.V
Erscheinungsjahr
2005
Quelle
SpringerLink
Beschreibungen/Notizen
We present the design and fabrication of a micro-electro-mechanical (MEMS) tribometer with normal and lateral force resolutions of 100 and 1 nano-Newton, respectively and bandwidth of 50 kHz. The small size of the tribometer (2 × 2 × 0.3 mm) allows simultaneously quantitative and qualitative dynamic testing in electron microscopes.