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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Metal‐Insulator‐Metal Diodes: Quantum‐Tunneling Metal‐Insulator‐Metal Diodes Made by Rapid Atmospheric Pressure Chemical Vapor Deposition (Adv. Funct. Mater. 7/2019)
Ist Teil von
  • Advanced functional materials, 2019-02, Vol.29 (7), p.n/a
Ort / Verlag
Hoboken: Wiley Subscription Services, Inc
Erscheinungsjahr
2019
Link zum Volltext
Quelle
Wiley Blackwell Single Titles
Beschreibungen/Notizen
  • In article number 1805533, David Muñoz‐Rojas, Kevin P. Musselman, and co‐workers fabricate a quantum‐tunneling metal‐insulator‐metal (MIM) diode using a rapid atmospheric pressure chemical vapor deposition technique, demonstrating that clean room fabrication is not a prerequisite for quantumenabled devices. Uniform Al2O3 films 6 nm thick are coated in 15 seconds in open‐air, resulting in MIM diodes with better performance than similar diodes made by plasma‐enhanced atomic layer deposition.

Weiterführende Literatur

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