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Influence of diffusion on the cleaning of the CVD reactor atmosphere
Ist Teil von
Journal of engineering physics and thermophysics, 2012-07, Vol.85 (4), p.794-797
Ort / Verlag
Boston: Springer US
Erscheinungsjahr
2012
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Beschreibungen/Notizen
The problem of displacement of a gas impurity from a cylindrical reactor by a laminar flow is solved numerically. Engineering equations for calculating the time of displacement are obtained. The results of the work can be applied in developing the technology of producing carbon tubes by the CVD method and in closely related problems.