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Micro- and Nano- Engineering 98, MNE. Proceedings of the International Conference on Micro- and Nanofabrication, September 22-24 1998, Leuven, Belgium
Microelectronic engineering, 1999, Vol.46 (1-4)
VAN DEN HOVE, Luc
VAN ROSSUM, Marc
RONSE, Kurt
1999
Volltextzugriff (PDF)
Details
Autor(en) / Beteiligte
VAN DEN HOVE, Luc
VAN ROSSUM, Marc
RONSE, Kurt
Titel
Micro- and Nano- Engineering 98, MNE. Proceedings of the International Conference on Micro- and Nanofabrication, September 22-24 1998, Leuven, Belgium
Ist Teil von
Microelectronic engineering, 1999, Vol.46 (1-4)
Ort / Verlag
Amsterdam: Elsevier Science
Erscheinungsjahr
1999
Quelle
Elsevier Journal Backfiles on ScienceDirect (DFG Nationallizenzen)
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0167-9317
eISSN: 1873-5568
Titel-ID: cdi_pascalfrancis_primary_358079
Format
–
Schlagworte
Applied sciences
,
Electronics
,
Exact sciences and technology
,
Integrated circuits
,
Integrated circuits by function (including memories and processors)
,
Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology)
,
Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices
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