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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Downstream ion and radical densities in an Ar–NH3 plasma generated by the expanding thermal plasma technique
Ist Teil von
  • Plasma sources science & technology, 2006-08, Vol.15 (3), p.546-555
Ort / Verlag
Bristol: IOP Publishing
Erscheinungsjahr
2006
Quelle
Alma/SFX Local Collection

Weiterführende Literatur

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