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Focused ion beam Moiré method
Optics and lasers in engineering, 2003, Vol.40 (3), p.163-177
HUIMIN XIE
BIAO LI
GEER, Robert
BAI XU
CASTRACANE, James
2003
Volltextzugriff (PDF)
Details
Autor(en) / Beteiligte
HUIMIN XIE
BIAO LI
GEER, Robert
BAI XU
CASTRACANE, James
Titel
Focused ion beam Moiré method
Ist Teil von
Optics and lasers in engineering, 2003, Vol.40 (3), p.163-177
Ort / Verlag
Oxford: Elsevier
Erscheinungsjahr
2003
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Sprache
Französisch
Identifikatoren
ISSN: 0143-8166
eISSN: 1873-0302
Titel-ID: cdi_pascalfrancis_primary_14683665
Format
–
Schlagworte
Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (mems/nems)
,
Electronique
,
Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide
,
Generalites
,
Instrumentation, équipement et techniques optiques
,
Instruments, appareillage, composants et techniques communs à plusieurs branches de la physique et de l'astronomie
,
Interféromètres
,
Physique
,
Sciences appliquees
,
Sciences exactes et technologie
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