Optics and lasers in engineering, 2003, Vol.40 (3), p.163-177
2003
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Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Focused ion beam Moiré method
- Ist Teil von
- Optics and lasers in engineering, 2003, Vol.40 (3), p.163-177
- Ort / Verlag
- Oxford: Elsevier
- Erscheinungsjahr
- 2003
- Quelle
- Alma/SFX Local Collection
- Sprache
- Französisch
- Identifikatoren
- ISSN: 0143-8166eISSN: 1873-0302Titel-ID: cdi_pascalfrancis_primary_14683665
- Format
- –
- Schlagworte
- Dispositifs micro- et nanoélectromécaniques (mems/nems), Electronique, Electronique des semiconducteurs. Microélectronique. Optoélectronique. Dispositifs à l'état solide, Generalites, Instrumentation, équipement et techniques optiques, Instruments, appareillage, composants et techniques communs à plusieurs branches de la physique et de l'astronomie, Interféromètres, Physique, Sciences appliquees, Sciences exactes et technologie