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Rf sputtering of composite SiOx/plasma polymer films and their basic properties
Surface & coatings technology, 2002, Vol.151-52, p.214-217
2002
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Rf sputtering of composite SiOx/plasma polymer films and their basic properties
Ist Teil von
  • Surface & coatings technology, 2002, Vol.151-52, p.214-217
Ort / Verlag
Lausanne: Elsevier
Erscheinungsjahr
2002
Quelle
Elsevier ScienceDirect Journals
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0257-8972
eISSN: 1879-3347
Titel-ID: cdi_pascalfrancis_primary_13503519
Format
–
Schlagworte
Cross-disciplinary physics: materials science, rheology, Deposition by sputtering, Exact sciences and technology, Materials science, Methods of deposition of films and coatings, film growth and epitaxy, Physics

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