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Development of optical methods and equipment for controlling the manufacturing and parameters of semiconductor structures of nano- and microelectronics
Journal of communications technology & electronics, 1999-11, Vol.44 (11), p.1296-1300
1999
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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Development of optical methods and equipment for controlling the manufacturing and parameters of semiconductor structures of nano- and microelectronics
Ist Teil von
  • Journal of communications technology & electronics, 1999-11, Vol.44 (11), p.1296-1300
Ort / Verlag
Birmingham, AL: MAIK Nauka/Interperiodica
Erscheinungsjahr
1999
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 1064-2269
eISSN: 1555-6557
Titel-ID: cdi_pascalfrancis_primary_1265939
Format
–
Schlagworte
Applied sciences, Electronics, Exact sciences and technology, Microelectronic fabrication (materials and surfaces technology), Semiconductor electronics. Microelectronics. Optoelectronics. Solid state devices

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