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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Structural Transformation of “Silica+Zn” Nanocomposite after Annealing in Oxidizing Atmosphere
Ist Teil von
  • Semiconductors (Woodbury, N.Y.), 2018-12, Vol.52 (16), p.2111-2113
Ort / Verlag
Moscow: Pleiades Publishing
Erscheinungsjahr
2018
Quelle
SpringerLink
Beschreibungen/Notizen
  • It has been found that “hot” high-fluence Zn + implantation leads to the formation of the extended layer with zinc-based nanoclusters of size up to 10 nm in SiO 2 film. The precipitate’s crystalline nature is confirmed by HRTEM studies. Post-implantation annealing at 700°C for 60 min leads to Zn atoms redistribution in implanted region, formation of the larger crystallites (up to 25 nm) and the small Zn nanoparticles surrounded by the oxide shells (core (Zn)/shell(ZnO) structure) as well as the voids formation at the interface “Zn nanocluster/SiO 2 matrix”. The number of the core (Zn)/shell (ZnO) structures and the voids increases after annealing at 700°C for 120 min.

Weiterführende Literatur

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