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Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Highly enhanced ferroelectricity in HfO2-based ferroelectric thin film by light ion bombardment
Ist Teil von
  • Science (American Association for the Advancement of Science), 2022-05, Vol.376 (6594), p.731-738
Ort / Verlag
Washington: The American Association for the Advancement of Science
Erscheinungsjahr
2022
Quelle
American Association for the Advancement of Science
Beschreibungen/Notizen
  • Ion enhanced polarizationHafnium oxide is an exciting material because it has ferroelectric behavior that makes it attractive for various device applications. Kang et al. found that the ferroelectric properties improve by bombarding films of hafnium oxide with a beam of helium ions. The ion bombardment creates oxygen vacancies and strain changes from helium implantation that push more of the polycrystalline samples into the ferroelectric orthorhombic phase. This method may become an important tool for stabilizing the ferroelectric phase for the next generation of electronic devices. —BG
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0036-8075
eISSN: 1095-9203
DOI: 10.1126/science.abk3195
Titel-ID: cdi_osti_scitechconnect_1871883

Weiterführende Literatur

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