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Control of charged particle dynamics in capacitively coupled plasmas driven by tailored voltage waveforms in mixtures of Ar and CF 4
Plasma sources science & technology, 2019-09, Vol.28 (9), p.95021
2019

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Control of charged particle dynamics in capacitively coupled plasmas driven by tailored voltage waveforms in mixtures of Ar and CF 4
Ist Teil von
  • Plasma sources science & technology, 2019-09, Vol.28 (9), p.95021
Ort / Verlag
United States: IOP Publishing
Erscheinungsjahr
2019
Link zum Volltext
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Beschreibungen/Notizen
  • Not provided.
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 1361-6595
eISSN: 1361-6595
DOI: 10.1088/1361-6595/ab3c7c
Titel-ID: cdi_osti_scitechconnect_1611833
Format
–
Schlagworte
Physics

Weiterführende Literatur

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