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BibTeX
Atomic Layer Deposition: Fundamentals, Practice, and Challenges
Handbook of Thin Film Deposition, 2018, p.1-1
Schepis Dominic
Seshan Krishna
4th Edition, 2018
Volltextzugriff (PDF)
Details
Autor(en) / Beteiligte
Schepis Dominic
Seshan Krishna
Titel
Atomic Layer Deposition: Fundamentals, Practice, and Challenges
Ist Teil von
Handbook of Thin Film Deposition, 2018, p.1-1
Auflage
4th Edition
Ort / Verlag
Elsevier
Erscheinungsjahr
2018
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISBN: 0128123117, 9780128123119
DOI: 10.1016/B978-0-12-812311-9.00011-6
Titel-ID: cdi_knovel_primary_chapter_kt011PPDI2
Format
–
Schlagworte
Adhesives, Coatings, Sealants & Inks
,
Coatings
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