Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 2010-03, Vol.41 (3), p.161-165
2010
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Details
- Autor(en) / Beteiligte
- Titel
- Einfluss der PVD-Prozessparameter auf die Schichtnukleation und Struktur von CrN-Schichten
- Ist Teil von
- Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 2010-03, Vol.41 (3), p.161-165
- Ort / Verlag
- Weinheim: WILEY-VCH Verlag
- Erscheinungsjahr
- 2010
- Quelle
- Wiley-Blackwell Journals
- Sprache
- Deutsch
- Identifikatoren
- ISSN: 0933-5137eISSN: 1521-4052DOI: 10.1002/mawe.201000540Titel-ID: cdi_istex_primary_ark_67375_WNG_N6XVQ4TK_5
- Format
- –
- Schlagworte
- CrN, crystallized lattice orientation, imperfection, Kristallgitterorientierung, nucleation, Oberflächendefekt, PVD, Schichtnukleation