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Einfluss der PVD-Prozessparameter auf die Schichtnukleation und Struktur von CrN-Schichten
Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 2010-03, Vol.41 (3), p.161-165
Slomski, E. M.
Scheerer, H.
Troßmann, T.
Berger, C.
2010
Volltextzugriff (PDF)
Details
Autor(en) / Beteiligte
Slomski, E. M.
Scheerer, H.
Troßmann, T.
Berger, C.
Titel
Einfluss der PVD-Prozessparameter auf die Schichtnukleation und Struktur von CrN-Schichten
Ist Teil von
Materialwissenschaft und Werkstofftechnik, 2010-03, Vol.41 (3), p.161-165
Ort / Verlag
Weinheim: WILEY-VCH Verlag
Erscheinungsjahr
2010
Quelle
Wiley-Blackwell Journals
Sprache
Deutsch
Identifikatoren
ISSN: 0933-5137
eISSN: 1521-4052
DOI: 10.1002/mawe.201000540
Titel-ID: cdi_istex_primary_ark_67375_WNG_N6XVQ4TK_5
Format
–
Schlagworte
CrN
,
crystallized lattice orientation
,
imperfection
,
Kristallgitterorientierung
,
nucleation
,
Oberflächendefekt
,
PVD
,
Schichtnukleation
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