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Controlled co-evaporation of silanes for nanoimprint stamps
Nanotechnology, 2005-05, Vol.16 (5), p.S171-S175
2005

Details

Autor(en) / Beteiligte
Titel
Controlled co-evaporation of silanes for nanoimprint stamps
Ist Teil von
  • Nanotechnology, 2005-05, Vol.16 (5), p.S171-S175
Ort / Verlag
IOP Publishing
Erscheinungsjahr
2005
Link zum Volltext
Quelle
Alma/SFX Local Collection
Sprache
Englisch
Identifikatoren
ISSN: 0957-4484
eISSN: 1361-6528
DOI: 10.1088/0957-4484/16/5/007
Titel-ID: cdi_iop_primary_10_1088_0957_4484_16_5_007
Format
–

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