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Low-Back-Reflection Grating Coupler on Silicon-on-Insulator for On-Chip Gyroscope Application
Ist Teil von
2020 Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO), 2020, p.1-2
Ort / Verlag
OSA
Erscheinungsjahr
2020
Quelle
IEEE Xplore
Beschreibungen/Notizen
To achieve optical access between silicon gyroscope chip and fiber sensing coil, we experimentally demonstrate grating coupler with asymmetric trenches on silicon-on-insulator with -4 dB coupling efficiency, 40.5 nm bandwidth, and -32.9 dB interface reflection.